宗益真空
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1.晶圓手臂吸片(Paddle)2.加熱盤(Heater/Hot-Plate)3.真空水盤4.加熱吸盤(Hot-Chuck)5.鏡面反射板(ReflectorPlates)6.真空腔體(Chamber)7.鐵氟龍伸縮軟管(Teflon)8.真空(金屬、陶瓷、焊接)絕緣轉接頭(Fedthrough)
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